Descripción del equipo:
· Introducción del equipo:
El equipo de película delgada de pulverización catódica con magnetrón utiliza la tecnología central madura de la compañía: limpieza con haz de iones de alta energía + fuente de pulverización catódica con magnetrón (Magnetron Sputtering), el equipo adopta control automático completo, optimización integrada modular, equipo de alta potencia, rendimiento estable, operación simple y fácil mantenimiento. Para satisfacer diferentes necesidades de recubrimiento, la cámara se puede diseñar y configurar con una variedad de objetivos, como objetivos circulares planos, objetivos en tiras y objetivos cilíndricos, y puede obtener películas compuestas multi-capas con alta densidad y buen rendimiento uniforme, incluidos diversos metales, componentes electrónicos, materiales ferromagnéticos, así como óxidos aislantes y películas cerámicas. El equipo de película delgada de pulverización catódica con magnetrón es adecuado para el desarrollo de recubrimientos y servicios de recubrimiento por lotes.
·Ventajas del equipo:
El equipo de película delgada de pulverización catódica con magnetrón》tiene una tecnología central única, un campo magnético y una ruta de gas de proceso especialmente diseñados, que mejoran efectivamente la tasa de utilización objetivo y la estabilidad del proceso a largo plazo-;
interfaz universal modular express, directamente compatible con diferentes formas de objetivos catódicos, lo que permite el modo de funcionamiento de pulso CC, IF y RF; Fuerte compatibilidad;
express El sistema operativo de proceso inteligente automático-de diseño propio proporciona capacidades integrales y convenientes de edición y llamada de fórmulas de proceso, equipado con un sistema de monitoreo de parámetros de proceso en tiempo real-, lo que permite el control remoto en línea.
Campo de aplicación:
El equipo de película delgada de pulverización catódica con magnetrón exprés puede recubrir Cu, Au, Cr, Ni, Ta, TiN, TiC, TiCN, TiAlN, CrN y otros óxidos metálicos, no metálicos y cerámicos de todo tipo de películas y películas compuestas;
express Puede usarse en pantallas de cristal líquido, desgaste resistente, células solares, protección de materiales y anticorrosión, vidrio de construcción, capas de películas ópticas y decorativas, almacenamiento de información magneto-óptica, materiales ferromagnéticos y otros campos.
Tipo de revestimiento:
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Tipo de revestimiento |
Espesor de la película (μm) |
Rendimiento alcanzable |
Aplicación principal |
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Ti/Ni/Cr/Cu/Ag, etc. |
0.5-10 |
Mejore la soldabilidad, mejore la capacidad de blindaje electromagnético, cambie el color de la apariencia, etc. |
Comunicaciones 5G Instituto de investigación. |
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