Descripción del equipo:

· Introducción del equipo:

La máquina de recubrimiento de pulverización de magnetrón es una tecnología de deposición de vapor físico que utiliza el campo magnético y la interacción iónica para preparar películas delgadas. La máquina de recubrimiento de pulverización de magnetrón utiliza la tecnología de núcleo probada de la compañía: fuente de limpieza de ionbeam + esputación de magnetrón. En la cámara de vacío, el medio ambiente alcanza un alto estado de vacío al aspirarse. Luego, mediante la descarga de brillo o la radiación de radiofrecuencia, la superficie objetivo se activa para ionizar los átomos o moléculas de gas de trabajo y formar un plasma. Luego, al aplicar un campo magnético, los iones están controlados por el campo magnético, aumentando la probabilidad de golpear la superficie del objetivo. El haz de iones choca con la superficie del objetivo, lo que hace que los átomos o moléculas en el objetivo establezcan y depositen en la superficie del sustrato a una velocidad más alta para formar una película. La energía del haz de iones se puede ajustar, y la estructura y las propiedades de la película se pueden cambiar controlando la energía y la densidad del haz de iones. La máquina de recubrimiento de pulverización de magnetrón adopta un control automático completo, optimización de integración modular, alta potencia, buena estabilidad, operación simple y fácil mantenimiento. La máquina de pulverización Magnetron es adecuada para el desarrollo de recubrimiento y los servicios de recubrimiento por lotes.

· Ventajas del equipo:

expresar velocidad de deposición rápida;

expresar un bajo aumento de temperatura del sustrato;

expresar el daño a la capa de membrana es pequeño;

expresar buena unión de membrana;

expresar alta pureza cinematográfica, buena densidad, buena uniformidad cinematográfica;

expresar buena repetibilidad;

expresar adecuado para una variedad de materiales;

expresar la industrialización fácil de realizar;

Expresar la composición de la capa de película está cerca de la del material objetivo.

Express el recubrimiento de la película es bueno;

Se aplica un sesgo negativo expreso a la pieza de trabajo;

Técnica de objetivo compuesto expreso.

Campo de aplicación:

Express Microelectronics: la tecnología de recubrimiento con pulverización de magnetrón se utiliza en el campo de la microelectrónica para la preparación de cables de metal, disipadores de calor de metal, máscaras litográficas y otros componentes clave;

Campo óptico expreso: en el campo de la óptica, la tecnología de recubrimiento de pulverización de magnetrón se utiliza para fabricar componentes ópticos como lentes, filtros, espejos, etc.

Campo químico Express: la tecnología de recubrimiento con pulverización de magnetrón se utiliza para preparar catalizadores, sensores y otros componentes químicos;

Campo de mecanizado expreso: en el campo del mecanizado, la tecnología se utiliza para mejorar la dureza de la superficie, la resistencia al desgaste y la resistencia a la corrosión de las partes mecánicas;

Campo de decoración Express: la tecnología de revestimiento de pulverización de magnetrón se utiliza para producir una variedad de películas decorativas hermosas y duraderas;

Express Flexible Electronics: la tecnología de revestimiento de pulverización de magnetrón juega un papel importante en pantallas flexibles, libros electrónicos, células solares flexibles y otros productos emergentes;

Express Energy and Ambient Protection: la tecnología de recubrimiento de pulverización de magnetrón se utiliza para preparar una película de calefacción solar, células solares de película delgada, etc.

product-1148-259