Descripción general del producto
El sistema de evaporación por arco catódico industrial es una plataforma de deposición física de vapor (PVD) de grado de producción-diseñada para depositar revestimientos duros-resistentes al desgaste, a la corrosión-y de baja-fricción. Al emplear arcos eléctricos de bajo-voltaje y alta-corriente, los objetivos catódicos sólidos se vaporizan e ionizan instantáneamente en el punto del cátodo, generando plasma metálico altamente ionizado.
Diseñado y fabricado según los estándares de gestión de calidad ISO 9001 y las directivas de cumplimiento CE, este sistema está configurado para operaciones de recubrimiento de alto-rendimiento en los sectores de fabricación de herramientas, componentes automotrices y hardware industrial. Las configuraciones estándar integran diseños de múltiples-cátodos con dirección de campo magnético-independiente, fuentes de alimentación de polarización pulsada/CC programables y control de vacío automatizado para mantener una estequiometría de película consistente y microestructuras densas.
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Sistema de película delgada de evaporación por arcoEl sistema industrial de película delgada de evaporación por arco catódico está diseñado para la deposición de alta-tasa de recubrimientos de compuestos metálicos, aleaciones y cerámicos densos y...Ver más -
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Equipo PVD de evaporación por arcoEl sistema PVD de evaporación por arco catódico industrial utiliza arcos eléctricos de bajo-voltaje y alta-corriente para vaporizar objetivos de cátodos sólidos en un entorno de vacío. Este...Ver más -
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Equipo de película delgada de evaporación por arcoEste sistema de evaporación por arco catódico vaporiza objetivos catódicos sólidos mediante un arco eléctrico de bajo-voltaje y alta-corriente para generar plasma metálico completamente ionizado....Ver más
Especificaciones técnicas
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Parámetro |
Rango de especificaciones/Configuración estándar |
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Dimensiones de la cámara |
Diámetro: 800 mm - 1800 mm (diseños verticales/horizontales personalizables) |
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Material de la cámara |
Doble-acero inoxidable SUS304 de doble pared con canales internos-de refrigeración por agua |
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Presión de vacío máxima |
<= 5.0 x 10^-4 Pa (Achieved via roots blower and molecular/oil diffusion pump groups) |
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Configuración del cátodo |
De 4 a 12 fuentes de arco rectangular/circular con dirección electromagnética |
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Fuente de alimentación de arco |
300A - 500A corriente constante ajustable, ondulación<= 2% |
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Poder de polarización del sustrato |
0 a -1000 V ajustable, frecuencia de polarización pulsada 10 kHz - 100 kHz |
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Sistema de calefacción |
Conjunto de calentadores radiantes, temperatura máxima de 600 grados +/- 5 grados de uniformidad |
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Rotación de la pieza de trabajo |
Rotación planetaria o de doble-eje impulsada por un conducto de fluido magnético |
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Sistema de control |
PLC + PC industrial, control de secuencia automatizado basado en recetas- |
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Requisitos de servicios públicos |
Agua de refrigeración: 0,25-0,35 MPa, 20-25 grados; Alimentación: 380V/480V, trifásica, 50/60 Hz |
Proceso de evaporación del arco
El ciclo de deposición opera bajo un estricto control de procedimiento para garantizar la integridad de la película y la adhesión de la interfaz:
Evacuación y desgasificación:
La cámara de vacío se bombea hasta la presión base. Los sustratos se calientan al vacío para eliminar los volátiles de la superficie y la humedad residual.
01
Grabado con plasma (limpieza):
El bombardeo de iones metálicos (utilizando fuentes objetivo de titanio o cromo) limpia la superficie del sustrato a nivel atómico, eliminando los óxidos nativos y activando la interfaz.
02
Deposición reactiva:
Los gases reactivos (N2, CH4, O2) se inyectan en la cámara a través de controladores de flujo másico (MFC) para reaccionar con el flujo de plasma metálico (p. ej., Ti, Cr, AlTi), formando películas compuestas como TiN, TiAlN o CrN.
03
Enfriamiento y ventilación:
El enfriamiento posterior-a la deposición se produce bajo una atmósfera protectora de gas inerte antes de la ventilación de la cámara y la recuperación de las piezas.
04
Objetivos catódicos compatibles
Titanio (Ti) y Titanio Aluminio (TiAl):Materiales base para recubrimientos de TiN estándar y TiAlN de alta-oxidación-resistencia (que soportan oxidación hasta 900 grados).
Cromo (Cr):Se utiliza para acabados decorativos y capas de CrN/CrC{0}}resistentes a la corrosión.
Circonio (Zr) y Titanio Silicio (TiSi):Se aplica a películas nanocompuestas decorativas especializadas y resistentes-al desgaste extremo.
Materiales de sustrato compatibles
Acero de alta velocidad-(HSS):Brocas helicoidales, fresas, fresas y brochas.
Carburos cementados (WC-Co):Plaquitas indexables, escariadores y matrices de conformado.
Aceros y aleaciones de ingeniería:Componentes de válvulas automotrices, engranajes, herrajes sanitarios de acero inoxidable e implantes médicos de titanio.
Aplicaciones e impacto en el rendimiento
Herramientas para corte de metales:
Deposición de recubrimientos de TiAlN y AlCrN en insertos de carburo y fresas de mango, lo que extiende la vida útil de la herramienta entre un 200 % y un 300 % y permite el mecanizado en seco a alta-velocidad.
Troqueles de conformado y estampado:
Aplicación de recubrimientos densos y de baja-fricción para reducir el desgaste del adhesivo, el desgaste y el pegado de la pieza de trabajo durante la embutición profunda, lo que reduce el tiempo de inactividad hasta en un 40 %.
Tren motriz automotriz:
Tratamiento de anillos de pistón, pasadores de inyección de combustible y taqués para minimizar el coeficiente de fricción límite hasta < 0,15 y evitar el desgaste por raspado.
Hardware industrial y grifo sanitario:
Capas decorativas duras de PVD (oro TiN, oro rosa, circonio negro) que superan una prueba de niebla salina neutra de al menos 500 horas (ASTM B117).
Personalización y configuración de procesos
Los diseños de los equipos se escalan según el volumen de producción, la geometría de las piezas y el espacio ocupado por la fábrica:
Geometría de la cámara:
Estructuras de carga vertical para herramientas pesadas; configuraciones por lotes horizontales para carga de dispositivos de alta-capacidad.
Integración de fuente:
Configuraciones híbridas que combinan fuentes de arco catódico con cátodos de pulverización catódica con magnetrón desequilibrado (RMS) para depositar arquitecturas multicapa fluidas y sin-gotas.
Sistemas de filtración:
Filtros de macropartículas magnéticas opcionales (filtros de arco dirigido) instalados en canales catódicos para eliminar macro-gotitas para recubrimientos funcionales ópticos o de precisión ultra-suaves.
Interfaz de automatización:
Integración-lista para brazos de carga robóticos y preparación por lotes de vehículos guiados automatizados (AGV).
Integridad estructural:Los cuerpos de la cámara se someten a pruebas de fugas con espectrómetro de masas de helio con un umbral de sensibilidad de<= 1 x 10^-9 Pa*m3/s prior to assembly.
Seguridad y cumplimiento eléctricos:Construido estrictamente según las pautas de seguridad eléctrica CE e IEC, con pruebas de aislamiento completas e interbloqueos de seguridad de emergencia.
Funcionamiento-funcional (FAT):Each system undergoes a 72-hour continuous dry-run test and a full-process thermal deposition test in our factory. Coating thickness uniformity (+/- 5%) and adhesion (Scratch Tester critical load Lc >= 40 N/Indentación Rockwell HF1-HF2) se verifican en cupones de prueba estándar antes del envío.
Instalación y soporte técnico
Paquete de preparación del sitio:
Planos completos de diseño de servicios públicos que detallan los caudales de agua de refrigeración, ventilación de escape, capacidad de carga del piso y especificaciones de caída eléctrica proporcionados 4 semanas después del -contrato.
En-puesta en servicio en el sitio:
Los ingenieros de procesos certificados-de fábrica se encargan de la alineación mecánica, la detección de fugas de vacío, la integración eléctrica y la configuración inicial de recetas de referencia en las instalaciones del cliente.
Transferencia de recetas de proceso:
La entrega incluye recetas de referencia estándar (TiN, TiAlN, CrN) y capacitación operativa para equipos internos de mantenimiento e ingeniería.
Soporte de diagnóstico remoto:
Sistemas equipados con puertas de enlace de enrutadores industriales seguras para la resolución remota de problemas de parámetros y diagnóstico lógico de PLC.
Preguntas frecuentes
Somos bien-conocidos como uno de los principales fabricantes y proveedores de equipos de película delgada de evaporación por arco en China. Si va a comprar equipos de película delgada de evaporación por arco personalizados fabricados en China, le invitamos a obtener una lista de precios de nuestra fábrica. Para consulta de precios, contáctenos.
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