El equipo de recubrimiento compuesto por evaporación al vacío integra tecnologías de evaporación por haz de electrones y deposición asistida por iones (IAD), lo que admite el recubrimiento compuesto de procesos múltiples y es adecuado para la preparación de películas ópticas de alta-precisión. El equipo está equipado con una trampa de baja-temperatura y un sistema de cañón de electrones dual, con un vacío límite de<5.0×10⁻⁶ Pa, and the uniformity of the film layer is controlled within ±1%. The vacuum evaporation composite coating equipment can simultaneously be compatible with AR film, AF film and metal decorative film, meeting the multi-functional coating requirements of complex optical devices.
Ventajas técnicas:
· El equipo de recubrimiento compuesto por evaporación al vacío adopta un sistema de control de espesor de película completamente automático, compatible con los modos de control de luz y control de cristal;
· The composite process reduces the stress of the film layer and enhances the adhesion of the hard coating (>5N);
· El diseño modular permite un rápido reemplazo de la fuente, cumpliendo con los requisitos tanto de la investigación como de la producción en masa.
Campos de aplicación: Dispositivos láser, sensores ópticos, embalajes de semiconductores, etc.
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