Descripción del equipo:
· Introducción del equipo:
expresar Las moléculas del gas de proceso que pasan a través de la cámara de grabado se descomponen y se ionizan para producir plasma.
expresar Algunos de los grupos activos en el plasma reaccionan químicamente con la superficie del material grabado;
Express Equipo de grabado de película delgada a través de la fuente de alimentación de pulso/radiofrecuencia, los iones positivos en el plasma se bombardean físicamente en la superficie del material grabado, para limpiar, modificar y grabar la superficie del material mediante una combinación de física y química.
· Ventajas del equipo:
expresa temperatura de grabado ultra-baja, para cumplir con los requisitos de temperatura de diferentes ocasiones, puede evitar el estrés térmico y la deformación del sustrato;
La fuente de iones dual》se puede levantar por ambos lados del cilindro, fácil mantenimiento;
El equipo de grabado de película delgada》adopta una fuente de limpieza por haz de iones y una tecnología de descarga única, alta densidad de plasma, el efecto de limpieza del grabado es bueno, con buena uniformidad;
Express Alarma y protección: La protección de seguridad integral incluye: función de protección de seguridad de temperatura, función de protección de sobrecarga, función de protección de alarma de interrupción de cortocircuito, varias funciones de protección de mal funcionamiento.
Campo de aplicación:
express Materiales grabables: metálicos, no-metales, aleaciones, componentes electrónicos (silicio monocristalino, silicio amorfo, polisilicio, SOI), óxidos metálicos, nitruros, carburos, cerámicas, polímeros, materiales superconductores, etc.
express Se puede utilizar como máquina de desvanecimiento de películas para películas DLC/ta-C.
express Se puede utilizar en: electrónica de consumo 3C, componentes electrónicos, óptica, transporte, moldes de herramientas, electrodomésticos, nuevas energías, medicina, institutos de investigación y otras industrias.
Antes del grabado iónico Después del grabado iónico
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